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微差壓傳感器的原理

微差壓開關，是微差壓傳感器的一種，它利用了MEMS技術，它能夠提供很多常閉、常開節(jié)點，不帶有活動元件，而且具備使用方位不敏感、重復性很好以及使用壽命長等等優(yōu)點，它的應用領域比較廣泛，比如在變風系統(tǒng)以及暖通空調系統(tǒng)等領域。微差壓力傳感器需要按照一定的規(guī)定或者是通過一定的設計結構安裝的，它可以把壓力前后的改變量有效地轉換成為壓敏元件的有關變化，接著再由敏感元件的形變所形成的弱信號輸出進行相關的處理調制，或者是將其再通過模數(shù)轉換的處理以及芯片的運算處理，輸出數(shù)字信號?，F(xiàn)在以電容式微差壓力傳感器為例，介紹一下它的工作原理。壓力變送器在被測的物質兩側不一樣的壓力分別通過高和低兩壓力室，而作用在敏感元件的兩個邊緣的隔離膜片上面，然后經(jīng)過元件和隔離片里的填充溶液，將其輸送到處理膜片的兩側，兩側絕緣片上的電極和測量膜片分別形成一個電容器。當兩側所受到的壓力大小不一樣的時候，測量膜片就會形成一定的位移，它的位移量跟壓力差是成正比的關系的，因此兩側的電容量就各不相同了，那么經(jīng)過振蕩以及解調的環(huán)節(jié)，就可以將其轉換成為跟壓力成正比關系的信號，最后進行信號的調制就可以順利得到調制電流了，使用A/D轉換器就可以把解調器中的電流有效地轉換成為數(shù)字信號，微處理器可以利用這個數(shù)值來判斷輸入壓力值，最后由微處理器來控制壓力傳感器的有關工作。